中走絲線切割作為我國(guó)獨(dú)創(chuàng)的一種電火花線切割加工模式，應(yīng)用極為廣泛。電火花線切割加工的優(yōu)點(diǎn)在于可以加工淬火類(lèi)等熱處理后的零件、異型零件，切除廢料少等。而中走絲線切割加工中同內(nèi)圓切割技能比較有其顯著的缺點(diǎn)，主要體現(xiàn)在4個(gè)方面：
其一、片厚平均誤差較大(約為內(nèi)圓切割技能2倍)。其二、切割進(jìn)程中智能檢查操控不易完成。三是切割進(jìn)程的成功率請(qǐng)求較高，危險(xiǎn)大，一但斷絲而不行搶救時(shí)，直接糟蹋一根單晶棒。四是不能完成單片質(zhì)量操控，一次切割完成后，才干檢查一批圓片的切割質(zhì)量，而且圓片之間切割質(zhì)量也不相同。在這些方面，電火花中走絲切割內(nèi)圓切割技能卻顯示出其優(yōu)越性來(lái)。
具體體現(xiàn)如今：
1、主動(dòng)、單片方法切換操作便利性；
2、低成本的輔料(線切割機(jī)磨料及磨料液要守時(shí)更換)。
3、切片精度高，切片成本低，同標(biāo)準(zhǔn)級(jí)的內(nèi)圓切片機(jī)報(bào)價(jià)為線切割機(jī)報(bào)價(jià)1/3～1/4，線切割機(jī)床還需配置專(zhuān)用粘料機(jī)，每片都可調(diào)整；
4、小批量多標(biāo)準(zhǔn)加工時(shí)靈敏的加工可調(diào)性；
5、不同片厚所需較小的調(diào)整時(shí)刻，不同棒徑所需較小的調(diào)整時(shí)刻。
6、修刀、裝刀便利。八十年代中后期人們普遍認(rèn)為：跟著硅晶片大片徑化發(fā)展，線切割技能是硅片切割的干流技能，在規(guī)模化晶圓片切割中將替代內(nèi)圓切割技能。因而人們加大了對(duì)200mm以上線切割機(jī)的研討，以處理其技能缺乏。
電火花中走絲線切割穩(wěn)定切割的前提首先必須保證在切割過(guò)程中不斷絲。而斷絲機(jī)率主要隨著放電能量和切割厚度的增加而加大，即與電極絲在放電通道內(nèi)所受到的離子轟擊、冷卻狀態(tài)及停留時(shí)間密切相關(guān)。切割的效率和表面粗糙度也與極間冷卻與消電離并恢復(fù)絕緣狀態(tài)有關(guān)。