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中走絲切割作為我國獨創的中走絲切割加工方式,應用廣泛。中走絲切割的優點是可以加工淬火等熱處理后的零件,異形零件,切割廢料少等。與內圓切割技巧相比,中中走絲切割有其明顯的缺點,主要體現在四個方面:
一是平均厚度誤差較大(約為內圓切割技巧的2倍)。二是切割過程中的智能檢測和控制不易完成。三,切割過程要求成功率高,很危險。一旦電線斷了,無法挽救,一根單晶棒就會直接浪費掉。四,我們無法控制單個芯片的質量。一次切割完成后才能檢查一批晶圓的切割質量,不同晶圓的切割質量是不一樣的。在這些方面,中走絲切割在電火花加工中的內圓切削技術顯示出其優越性。
體現在今天:
1.在主動和單片方法之間切換操作的便利性;
2.低成本配件(線切割機的磨料和磨料液要按時更換)。
3.切片精度高,切片成本低。同標準水平的內切片機報價為線切割機報價的1/3~1/4。線切割機還需要配備專門的焊接機,每片都可以調節;
4.小批量多標準加工中靈敏的加工可調性;
5.不同板材厚度的調整時間更短,不同棒材直徑的調整時間更短。
6.維修和安裝刀具很方便。20世紀80年代中后期,人們普遍認為隨著大尺寸硅片的發展,線切割技能是硅片切割的主流技能,并將取代大尺寸硅片切割中的內圓切割技能。因此,人們增加了對直徑超過200毫米的線切割機的研究,以應對他們技能的缺乏。
中走絲切割穩定切割的前提必須首先保證切割過程中導線不中斷。
而斷絲機率主要隨著放電能量和切割厚度的增加而加大,即與電極絲在放電通道內所受到的離子轟擊、冷卻狀態及停留時間密切相關。切割的效率和表面粗糙度也與極間冷卻與消電離并恢復絕緣狀態有關。